C60-20S 离子源系统C60 20S

2025-11-18

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C60-20S 离子源系统虽然所有离子束都会溅射或蚀刻,但我们的一些系统的表面是专为高效和快速溅射而设计的。溅射光束有三个特点:高电流、大光斑尺寸和宽视场。这些特性的结合意味着它们可以在大面积上尽快输送大剂量的离子,以优化蚀刻速率。
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